㈜코리아스타텍
홍보관 제품
    제품코드 G153909
    제품명 TSP 공정
    모델명 Dry Etch
    제품분류 가공/주문도장,표면처리,도금
    사양
    가격 가격협의
    세금계산서 가능
    거래방식
    상태
    판매지역 전국
    A/S 여부 가능
    설치 및 시운전 가능
    상세정보
    • Plasma Etching공정
    • Cooling Gas를 통한 Glass 온도 제어

     

    • 높은 체적저항을 가진 Mono-polar Type
    • 유전층 : 400~800 ㎛
    • 허용 Backside Gas압력 : 2~5Torr
    • Emboss : Ø0.3 x 1.0mm Pitch
    • 내플라즈마 Coating 및 Dual Type
    • 1~10.5G 다양한 Size 대응