제품코드 | G153909 |
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제품명 | TSP 공정 |
모델명 | Dry Etch |
제품분류 | 가공/주문도장,표면처리,도금 |
사양 | |
가격 | 가격협의 |
세금계산서 | 가능 |
거래방식 | |
상태 | |
판매지역 | 전국 |
A/S 여부 | 가능 |
설치 및 시운전 | 가능 |
상세정보
- Plasma Etching공정
- Cooling Gas를 통한 Glass 온도 제어
- 높은 체적저항을 가진 Mono-polar Type
- 유전층 : 400~800 ㎛
- 허용 Backside Gas압력 : 2~5Torr
- Emboss : Ø0.3 x 1.0mm Pitch
- 내플라즈마 Coating 및 Dual Type
- 1~10.5G 다양한 Size 대응