- 제품코드 G059601
- 제품명 반도체 공정 검사기
- 가격 가격협의
- 모델명 WLIMS(Wafer Level Impurity Mapping System)
- 제품분류 측정/계측/검사/시험기검사.시험기.계측기 기타
- 사양 기존의 VPD-ICP-MS나 TXRF와 같이 고가의 분석 시스템을 요구하지 않으면서도 유사한 감도를 나타내며, 최소한의 전처리 요구로 반도체 생산 line에 on-line monitoring이 가능하게 한 최초의 시스템입니다.
- 세금계산서 가능
- 거래방식
- 상태
- 판매지역 전국
- A/S 여부 가능
- 설치 및 시운전 불가능
상세정보
공간 분해능이 좋기 때문에 Wafer 상의 금속 오염에 대한 mapping이 가능함.
자동화에 의한 user friendly 구조를 실현함.
소량의 chemical 사용에 의한 유지 및 관리 비용을 최소화 함.
짧은 분석 시간 및 mapping 능력으로 공정에서 발생하는 문제에 빠른 대응 또는 사전 검출을 통해 생산성 및 수율 향상에 기여할 수 있음.
분석 공정의 자동화로 인해 검사인력의 시간활용도가 극대화 된다.
분석 시료가 외부와의 접촉의 최소화되어 오염이 최소화된다.
분석효율이 증대되어 사전 불량검출이 현실화 되어 공정검사가 가능하다.
기존 장비에 비하여 구매 비용 절감이 가능하다. (Low cost실현)