- 제품코드 G148020
- 제품명 SEAbatch SEMI
- 가격 가격협의
- 모델명 SEAbatch SEMI
- 제품분류 로봇/자동화기기자동화설비/시스템
- 사양
- 세금계산서 가능
- 거래방식
- 상태
- 판매지역 전국
- A/S 여부 가능
- 설치 및 시운전 가능
상세정보
Features & Benefits
다양한 Batch application
- RCA / SPM / HFO3 / DIO3 cleaning
- Developing / Etching / Stripping
- Oxidation / Special drying
높은 dosing 정확도
+/- 2ml
완벽 건조
생산 가능 기판
- Si wafer up to 300mm
- Glass / Ceramics up to 500x500mm
파티클(Particle) 최소화
- RCA cleaning < 30EA
- Dry < 30EA
Metal 성분 제로