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    제품코드 G046051
    제품명 반도체제조용 Furnace
    모델명 PF-V12 Series
    제품분류 전기/전자/통신/반도체전기전자관련 기타
    사양 하단표기
    가격 가격협의 세금계산서 가능
    상태 신품 판매지역 전국
    A/S여부 가능
    설치 및 시운전 불가능
    제품/가격 문의

    (주)피앤테크: 0504-0667-6597

    상세정보
    PF-V12 Vertical Furnace System
    Semiconductor Process Application - Oxidation - N2/H2 Annealing

    PF-V12 Series System Features

    - Wafer size : 125mm,150mm, 200mm, 300mm

    -  Load Capacity : 75 Wafers
    -  Thermal uniformity  accuracy :
       * Between 400℃ and 800℃ ±1℃
       * Between 800℃ and 1150℃ ±0.5℃
    -  Ramp rate : 0.1~ 25℃ per minute

    -  Operating temperature range : 400℃ ~ 1150℃
    -  Boat  Speed : 3~125 cm / minute
    -  3 or 4 Zone  by Spikes and  Profile T/C

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