제품코드 G046052
    제품명 솔라셀제조용 Frunace
    모델명 PF-S85 Series
    제품분류 전기/전자/통신/반도체전기전자관련 기타
    사양 하단표기
    가격 가격협의 세금계산서 가능
    상태 신품 판매지역 전국
    A/S여부 가능
    설치 및 시운전 불가능
    제품/가격 문의

    (주)피앤테크: 0504-0667-6597

    상세정보
    PF-S85 Furnace System
    Solar Cell Process Application - POCl3 - BBr3 - N2/H2 Annealing - Oxidation - Activation


    PF-S85 Series System Features

     - Wafer size : 125mm * 125mm, 156mm * 156mm

    -  Load Capacity : 2000 wafers ( 1 Bank 5 Tube),  400 Wafers / 1 Tube
    -  Auto Pressure Control  / Softland & Auto Door
    -  Thermal uniformity  accuracy :
       * Between 400℃ and 800℃ ±1℃ /  Between 800℃ and 1150℃ ±0.5℃
    -  Ramp rate : 0.1~ 20℃ per minute, both ramp up and ramp down
    -  Operating temperature range : 400℃ ~ 1150℃
    -  Boat  Speed  Control :  3~125 cm / minute
    -  3~6 Zone  by Spikes and Profile T/C
    -  Automation Application : Boat  Loader, Elevator
    판매자 정보