- 슬롯 메거진을 위한 수직형태의 쉘프 특허개발로 인해 종전 경쟁사보다 20% 향상된 세정능력
- 고용량 : 최대 16메거진 적재가능 (표준. 8매거진 적재)
- 오일 로타리 진공펌프 및 부스터 펌프 내장형 (고진공) / 드라이펌프 옵션 선택가능
- 안전적인 작업을 위한 반 회전문 방식 채택
- 와이어 접착성 향상 및 몰드 딜라미네이션 방지
- 균일한 세정을 위한 가스 분출용 노즐 디자인
- 스테인레스 진공챔버와 자재에 효율적인 RF파워 전달을 위한 특별한 절연방식
- 낮은 장비가격과 파트 국산화로 저렴한 비용의 운용가능
- 긴 수명시간을 자랑하는 스테인레스 스틸 진공챔버