| 제품코드 | G136327 | ||
|---|---|---|---|
| 제품명 | SPUTTER | ||
| 모델명 | TERRA-T | ||
| 제품분류 | 로봇/자동화기기자동화설비/시스템 | ||
| 사양 | |||
| 가격 | 가격협의 | 세금계산서 | 가능 |
| 상태 | 신품 | 판매지역 | 전국 |
| A/S여부 | 가능 | ||
| 설치 및 시운전 | 가능 | ||
제품/가격 문의
(주)울텍: 053-583-7565
상세정보
SPECIFICATIONS
| Deposition materials | Oxide materials, TCO materials, Metal materials |
|---|---|
| Substrate size | Piece to 8 inch |
| Product yield | 1 wafer/ run(@8 inch) |
| Sputter gun size | 3inch to 12inch |
| Plasma power | RF, DC or Pulsed DC power |
| Pressure control | Auto pressure control (throttle valve and baratron gauge) |
| Substrate rotation | 0~ 20 rpm |
| Process gases | Ar, O2, N2 |
| Substate Temperature | RT to Max. 450℃ |
| Vacuum pump | TMP or Cryo pump + Rotary pump or Dry pump |
| Ultimate pressure | < 5.0E-7 Torr |
| Option | Loadlock chamber, Plasma cleaning, Substrate cooling, Substrate temperature max.650℃ |
| Control | PC control (UPRO software) or Manual |
판매자 정보
- (주)울텍
- (주)울텍
- 053-583-7565
- leehj@ultech.co.kr
- 대구 달서구 성서공단로11길 17 (호림동)