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    제품코드 G148020
    제품명 SEAbatch SEMI
    모델명 SEAbatch SEMI
    제품분류 로봇/자동화기기자동화설비/시스템
    사양
    가격 가격협의 세금계산서 가능
    상태 신품 판매지역 전국
    A/S여부 가능
    설치 및 시운전 가능
    제품/가격 문의

    (주)에스이에이: 031-478-9106

    상세정보

    Features & Benefits

    다양한 Batch application

      - RCA / SPM / HFO3 / DIO3 cleaning
      - Developing / Etching / Stripping
      - Oxidation / Special drying

     

    높은 dosing 정확도 

     

    +/- 2ml

     

    완벽 건조

     

    생산 가능 기판

      - Si wafer up to 300mm

     

      - Glass / Ceramics up to 500x500mm

     

    파티클(Particle) 최소화 

     

      - RCA cleaning < 30EA
      - Dry < 30EA

     

    Metal 성분 제로

     

    sea-group.kr

    판매자 정보
    • (주)에스이에이
    • (주)에스이에이
    • 031-478-9106
    • info@sea-group.kr
    • 경북 구미시 4공단로7길 23-27 (구포동)